亚博电子竞猜-从夜视到“元宇宙”入口设备,ALD光学镀膜不断突破技术和市场边界

作者: 亚博电子竞猜
2021-11-23

跟着各类镜头、显示装备、生物辨认手艺产物、5G通信手艺和终端装备,和比来备受存眷的将来“元宇宙”主要场景进口装备的AR/VR等消费类终真个立异成长,对光学镀膜装备的手艺工艺和性价比要求也愈来愈高。

本文援用地址:http://www.eepw.com.cn/article/202109/428560.htm

在比来落下帷幕的第23届中国国际光电展览会(以下简称CIOE2021)上,业界领先的ALD装备制造商和办事商——青岛四方思锐智能手艺有限公司(以下简称思锐智能或SRII)携旗下Beneq品牌的重点展现内容之一就包罗ALD(原子层沉积手艺)的光学镀膜利用,其因超卓的膜层厚度平均性、保形性和高性价比等特点,激发行业人士的普遍存眷。

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图1 思锐智能携旗下Beneq品牌参展第23届中国国际光电展览会

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图2 ALD光学镀膜新利用激发业界普遍存眷

ALD光学镀膜利用方面有其怪异的优势,原子层沉积手艺合用在在三维布局的部件产物,特别是带有较年夜深宽比布局的沟槽、微孔和复杂曲面的产物上沉积高保形、高致密、高平均性的光学薄膜。这类特征有用地填补了现有的PVD镀膜手艺的不足,在现代光学镀膜范畴正遭到愈来愈多的正视。

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图3 ALD手艺可用在肆意外形的光学器件、球型透镜、光栅等利用的批量镀膜

思锐智能旗下Beneq倍耐克公司致力在开辟合适光学镀膜工业化出产的原子层沉积装备已有十多年的经验,是ALD手艺和装备在光学利用最早的开辟者,堆集很是深挚。公司设计和制造的P400A、P800、P1500、C2R 原子层沉积装备系列降服了同类原子层沉积装备沉积速度慢、不兼容年夜尺寸产物、难以年夜范围出产的局限,可完全知足现代光学范围化、高要求的镀膜产物的出产需要。

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图4 Beneq P系列ALD装备的产物特征对照

思锐智能中国区发卖总监刘春亮暗示,Beneq P系列ALD装备成长已很成熟,合适做一些多量量的产物,如一次做几百片乃至几千片的量,产能可不雅。并且该系列均搭载高容量反映器,是从研发阶段到年夜范围工业化出产的抱负东西。另外,P系列装备还撑持定制反映腔的设置装备摆设选项,合用在各类基底;并且反映腔易在改换,从而最年夜限度削减了因保护酿成的停机时候。

为了进一步晋升ALD的镀膜速度以媲美传统的PVD,在本届CIOE上,Beneq还展现了最新的C2R扭转等离子体加强型ALD(PEALD),C2R系列是将空间ALD手艺加上等离子手艺连系在一路,这是思锐智能的初创,今朝在全部ALD行业也是并世无双的。

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图5 Beneq C2R装备可以或许为客户带来一系列手艺优势

比拟P系列,C2R装备每批的产量相对较少,例如8寸的晶圆它一次能做7片,可是沉积速度很快,每小时可沉积几微米厚的膜层,可以跟传统的PVD沉积速度匹敌,令良多客户感应欣喜。“C2R与P系列各有各的优势,很好地构成了互补,知足分歧客户得需求,也是以在本次展会上吸引了很多客户前来领会洽商。“刘春亮暗示。

不竭拓展利用鸿沟,为工业和消费类光学手艺立异赋能

据刘春亮介绍,在中国客户利用方面,比来这两年思锐智能的ALD装备利用很成功的范畴之一就是夜视产物的出产。在年夜面积、精深宽比的微通道板中沉积高保形电阻和发射层薄膜材料,思锐智能的ALD装备极年夜地提高了微通道板的二次电子产额,加强了其产物机能。“好比在微通道板里面沉积电子发射层,再经由过程ALD薄膜可以在一些微孔里面做一些薄的氧化物材料,这类氧化物材料有益在光子的倍增,可以把弱光酿成比力强的光,实现光的放年夜。我们帮忙一些知名的国表里夜视产物出产公司在量产物质和经济效益方面都获得了很好的结果。”他强调道。

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图6 思锐智能中国区发卖总监刘春亮

不但如斯,思锐智能还为国内知名传感器的工业视觉系统供给商供给的ALD层沉积装备,首要利用在曲面(玻璃圆柱体)上沉积微米级厚的低折射率和高折射率材料光学堆, 用在近红外 (NIR) 滤光片的出产。 公司在为光学系统制造商范畴的首要利用是衍射光栅中填充高折射材料,发生平展的光栅布局并连结光栅布局洁净。同时,思锐智能的ALD装备还为愈来愈多的相机透镜制造商所青睐,首要利用在小曲面透镜上沉积平均的减反增透薄膜材料。另外,思锐智能在硅基微显示(Micro-OLED)薄膜封装、LED DBR反射器的出产、半导体装备焦点部件的庇护性镀膜等范畴有普遍的利用。

比来,业界A字头知名公司将在本身将来的AR、VR终端透视眼镜中采取的Micro-OLED的新闻不停在耳,事实上Micro-OLED必然是要用到ALD装备,这对其全部机能的晋升已被业界所公认。到今朝为止,ALD已是Micro-OLED一个必备的出产工艺。

思锐智能副总司理陈祥龙注释说,ALD常常串连在Micro-OLED蒸馏出产线上,当发光材料蒸镀完今后,用ALD来做薄膜封装,这里用了ALD最年夜的一个优势——便可以做很是致密的、庇护性好的薄膜。在这类环境下,它可以有用阻隔水和氧,提高OLED的利用寿命。

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图7 思锐智能副总司理陈祥龙

在Micro-OLED这端市场,思锐智能几近占有了全部市场90%的份额,无疑是这个行业的开辟者。“全球最初期的一些研发客户用的薄膜封装装备就是我们的ALD装备,从一最先的研发到最后出产,我们全程都介入了。在中国也是,如上海年夜学显示器研发中间,华南理工、广州新世界的封装装备,还在福州年夜学,根基上前真个研发装备都是我们的ALD装备,从初期的研发,到最后出产我们全程共同和介入,帮忙客户成功。”陈祥龙介绍说。

固然,思锐智能的ALD装备聚焦的不但仅是上述几年夜光学镀膜利用,公司但愿不竭扩年夜办事规模,可以或许打造成一个聚焦在光电系统的前端光学模组和后端半导体器件的一站式、系统级ALD解决方案供给商。

思锐智能很是积极来结构全部手艺的当地化,在国内也搭建了很是壮大的一个研发团队与手艺撑持团队。公司在青岛、上海都成立了半导体尝试室,作为一个设备制造企业,思锐智能但愿经由过程当地化的手艺团队和当地化尝试室,来为当地客户供给不但仅是一个装备而是一整套的研发办事,从概念验证到中实验证的办事,和到终究交钥匙的装备解决方案。

陈祥龙坦言:“我们也但愿经由过程当地化的手艺能力可以或许很好地连结与客户的黏性,同时也能把我们芬兰全资子公司Beneq在曩昔快要40年的工艺堆集盈利带给中国的客户。”


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